QR-код документа
Д39
Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, В. С. Соловьев, С. Ю. Ширяев. - Москва : Университетское, 1990. - 318, [1]1с., [8] л. ил. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 293-318 (697 назв.). - 1000 экз. - ISBN 5-7855-0192-9 (в пер.) : Б. ц.
Рубрики: Кремний--Дефекты
Кремний--Легирование ионное
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск
Похожие издания по классификации