QR-код документа
Т 38
Технологические проблемы микроэлектроники / отв. ред.: Т. М. Махвиладзе, А. В. Раков. - Москва : Наука, 1988. - 169, [3] с. : ил. - (Труды Института общ. физики / АН СССР; Гл. ред. А. М. Прохоров, ISSN 0233-9390; Т. 14). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-000723-4 : Б. ц.
Рубрики: Микроэлектронные схемы интегральные--Производство--Физические основы--Сборники
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск
Доп.точки доступа:
Махвиладзе, Тариэль Михайлович \ред.\
Раков, А. В. \ред.\