QR-код документа
А22
Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : [учебное пособие для приборостроит. спец. вузов / А. А. Сазонов и др.] ; Под ред. А. А. Сазонова. - Москва : Высш. шк., 1991. - 333, [1] с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 332 (12 назв. ). - 11000 экз. - ISBN 5-06-000731-6 (в пер.) : Б. ц.
Рубрики: Микроэлектронные схемы
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск