QR-код документа
Г52
Глазков, Илья Михайлович.
Оборудование для производства фотошаблонов и выполнения операций фотолитографии / И. М. Глазков. - Москва : Сов. радио, 1975. - 73 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера. Электроника). - Список лит.: с. 69-72 (83 назв.). - 12300 экз. - Б. ц.
Рубрики: Фотошаблоны для интегральных схем--Производство--Оборудование
Микроэлектронные схемы, интегральные--Производство
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск
Похожие издания по классификации