QR-код документа
И54
Импульсный отжиг полупроводниковых материалов / А. В. Двуреченский, Г. А. Качурин, Е. В. Нидаев, Л. С. Смирнов ; [Отв. ред. А. В. Ржанов]. - Москва : Наука, 1982. - 208 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр. в конце глав. - 1650 экз. - Б. ц.
В надзаг.: Акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников
Рубрики: Полупроводниковые--Легирование ионное
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск
Доп.точки доступа:
Ржанов, Анатолий Васильевич \ред.\
Похожие издания по классификации