Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем/Мокеев, Олег Константинович.

 

QR-код документа

Оценок: 0

6П2.15
М74
Мокеев, Олег Константинович.
    Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем : [учебник для сред. ПТУ] / О. К. Мокеев. - Москва : Выcш. шк., 1985. - 312 с. - Б. ц.
УДК
6П2.151.8(075.1)

Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск

Авторизуйтесь для получения дополнительных услуг