Ионное легирование в микроэлектронике/Грищенко, Анатолий Федорович.

 

QR-код документа

Оценок: 0

6П2.15
Г85

Грищенко, Анатолий Федорович.
    Ионное легирование в микроэлектронике : [учебное пособие для сред. ПТУ] / А. Ф. Грищенко. - Москва : Высш. шк., 1985. - 48 с. : ил. ; 20 см. - (Проф.-техн. образование). - Библиогр.: с. 47-48 (9 назв.). - 5000 экз. - Б. ц.
ББК 6П2.151(075.1)

Рубрики: Полупроводники--Легирование ионное--Учебники и пособия

   Микроэлектронные схемы--Производство--Учебники и пособия

Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск

Похожие издания по классификации