QR-код документа
Г46
Гиваргизов, Евгений Инвиевич.
Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники / Е. И. Гиваргизов ; С предисл. Е. П. Велихова. - Москва : Наука, 1988. - 175, [1] с. : ил. ; 20 см. - (Пробл. науки и техн. прогресса). - Библиогр.: с. 158-176. - 3700 экз. - ISBN 5-02-013845-2 : Б. ц.
Рубрики: Полупроводниковые пленки--Получение
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск
Похожие издания по классификации