QR-код документа
В 75
Воротынцев, Владимир Михайлович.
Базовые технологии микро- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / В. М. Воротынцев, В. Д. Скупов. - Москва : Проспект, 2019. - 519 с. : ил. ; 21 см. - Библиография: с. 514-515. - 50 экз. - ISBN 978-5-392-30308-3 : Б. ц.
Электронные версии книг на сайте ww.prospekt.org
Рубрики: Общая радиотехника--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Микроэлектроника--Учебные издания для высших учебных заведений
Общая радиотехника--Радиоэлектронная аппаратура (РЭА)--Наноэлектроника--Учебные издания для высших учебных заведений
Кл.слова (ненормированные):
схемы получения высокочистых полупроводниковых материалов -- технология абразивной обработки полупроводниковых подложек -- технология химической обработки полупроводниковых подложек -- технологии формирования приборных структур -- структуры «кремний на диэлектрике» -- структуры «кремний на сапфире» -- структуры «кремний на изоляторе» -- нанотехнологии в производстве микросистемной техники -- структурные дефекты в материалах
Держатели документа:
Ковылкинская межпоселенческая библиотека
Доп.точки доступа:
Скупов, Владимир Дмитриевич