QR-код документа
Д18
Данилин, Борис Степанович.
Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б. С. Данилин ; Под общ. ред. проф. Р. А. Нилендера. - Москва : Энергия, 1972. - 256 с. : черт. ; 20 см. - Список лит.: с. 245-254. - 9000 экз. - Б. ц.
Рубрики: Пленки тонкие--Получение--Применение вакуума
Микроэлектронные схемы, интегральные--Производство
Держатели документа:
Национальная библиотека им. А. С. Пушкина, г. Саранск
Похожие издания по классификации